ຫມູ່ເພື່ອນຈໍານວນຫຼາຍກ່ຽວກັບການບໍາລຸງຮັກສາເປົ້າຫມາຍດັ່ງກ່າວມີຄໍາຖາມຫຼາຍຫຼືຫນ້ອຍ, ບໍ່ດົນມານີ້, ຍັງມີລູກຄ້າຈໍານວນຫຼາຍທີ່ປຶກສາກ່ຽວກັບການບໍາລຸງຮັກສາບັນຫາທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບເປົ້າຫມາຍ, ໃຫ້ບັນນາທິການຂອງ RSM ສໍາລັບພວກເຮົາທີ່ຈະແບ່ງປັນຄວາມຮູ້ກ່ຽວກັບການບໍາລຸງຮັກສາເປົ້າຫມາຍ sputtering.
ຄວນຮັກສາເປົ້າໝາຍ sputter ແນວໃດ?
1, ການບໍາລຸງຮັກສາເປົ້າຫມາຍ
ເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການວົງຈອນສັ້ນແລະ arcing ທີ່ເກີດຈາກຢູ່ຕາມໂກນທີ່ບໍ່ສະອາດໃນຂະບວນການ sputtering, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ເອົາ sputters ທີ່ສະສົມຢູ່ກາງແລະທັງສອງດ້ານຂອງ sputtering ເປັນໄລຍະ, ເຊິ່ງຈະຊ່ວຍໃຫ້ຜູ້ໃຊ້ສາມາດ sputter ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນລະດັບຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງພະລັງງານສູງ.
2, ການເກັບຮັກສາເປົ້າຫມາຍ
ພວກເຮົາແນະນໍາໃຫ້ຜູ້ໃຊ້ເກັບຮັກສາເປົ້າຫມາຍ (ບໍ່ວ່າຈະເປັນໂລຫະຫຼືເຊລາມິກ) ໃນການຫຸ້ມຫໍ່ສູນຍາກາດ, ໂດຍສະເພາະເປົ້າຫມາຍ fitting ຕ້ອງໄດ້ຮັບການເກັບຮັກສາໄວ້ໃນສູນຍາກາດເພື່ອປ້ອງກັນການຜຸພັງຂອງຊັ້ນ fitting ຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບ fitting ໄດ້.ສໍາລັບການຫຸ້ມຫໍ່ຂອງເປົ້າຫມາຍໂລຫະ, ພວກເຮົາແນະນໍາວ່າພວກເຂົາຄວນຈະຖືກບັນຈຸຢູ່ໃນຖົງຢາງທີ່ສະອາດຢ່າງຫນ້ອຍ.
3, ທໍາຄວາມສະອາດເປົ້າຫມາຍ
ຂັ້ນຕອນທໍາອິດແມ່ນການທໍາຄວາມສະອາດດ້ວຍຜ້າອ່ອນທີ່ບໍ່ມີ lint ແຊ່ນ້ໍາໃນ acetone;
ຂັ້ນຕອນທີສອງແມ່ນຄ້າຍຄືກັບຂັ້ນຕອນທໍາອິດ, ເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍເຫຼົ້າ;
ຂັ້ນຕອນທີ 3: ເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍນ້ໍາ deionized.ຫຼັງຈາກການເຮັດຄວາມສະອາດດ້ວຍນ້ໍາ deionized, ເປົ້າຫມາຍແມ່ນຖືກຈັດໃສ່ໃນເຕົາອົບແລະຕາກໃຫ້ແຫ້ງຢູ່ທີ່ 100 ℃ສໍາລັບ 30 ນາທີ.ມັນໄດ້ຖືກແນະນໍາໃຫ້ໃຊ້ "ຜ້າທີ່ບໍ່ມີເສັ້ນດ່າງ" ເພື່ອເຮັດຄວາມສະອາດ oxide ແລະເປົ້າຫມາຍເຊລາມິກ.
ຂັ້ນຕອນທີສີ່ແມ່ນການລ້າງເປົ້າຫມາຍດ້ວຍ argon ທີ່ມີຄວາມກົດດັນສູງແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຕ່ໍາເພື່ອເອົາອະນຸພາກບໍ່ບໍລິສຸດທີ່ອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດ arc ໃນລະບົບ sputtering ໄດ້.
4, ການກວດສອບການຕັດສິນໃຈສັ້ນແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນ
ຫຼັງຈາກການຕິດຕັ້ງເປົ້າຫມາຍດັ່ງກ່າວ, cathode ທັງຫມົດຕ້ອງໄດ້ຮັບການກວດສອບສໍາລັບວົງຈອນສັ້ນແລະຄວາມແຫນ້ນຫນາ.ມັນແນະນໍາໃຫ້ຕັດສິນວ່າມີວົງຈອນສັ້ນໃນ cathode ໂດຍໃຊ້ເຄື່ອງວັດແທກຄວາມຕ້ານທານແລະ megger.ຫຼັງຈາກຢືນຢັນວ່າບໍ່ມີວົງຈອນສັ້ນໃນ cathode, ການກວດສອບການຮົ່ວໄຫຼຂອງນ້ໍາສາມາດດໍາເນີນການໄດ້, ແລະນ້ໍາສາມາດເຂົ້າໄປໃນ cathode ເພື່ອກໍານົດວ່າມີການຮົ່ວໄຫຼຂອງນ້ໍາ.
5, ການຫຸ້ມຫໍ່ແລະການຂົນສົ່ງ
ເປົ້າໝາຍທັງໝົດແມ່ນບັນຈຸຢູ່ໃນຖົງຢາງທີ່ຜະນຶກເຂົ້າກັນແບບສູນຍາກາດທີ່ມີສານຕ້ານຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ.ຊຸດດ້ານນອກໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນກ່ອງໄມ້ທີ່ມີຊັ້ນຕ້ານການປະທະກັນອ້ອມຮອບເພື່ອປົກປ້ອງເປົ້າຫມາຍແລະ backplane ຈາກຄວາມເສຍຫາຍໃນລະຫວ່າງການຂົນສົ່ງແລະການເກັບຮັກສາ.
ເວລາປະກາດ: ກໍລະກົດ-15-2022