ພວກເຮົາຕ້ອງມີຄວາມຄຸ້ນເຄີຍກັບເປົ້າຫມາຍຫຼາຍໃນປັດຈຸບັນ, ໃນປັດຈຸບັນຕະຫຼາດເປົ້າຫມາຍຍັງເພີ່ມຂຶ້ນ, ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນສິ່ງທີ່ເປັນການປະຕິບັດຕົ້ນຕໍຂອງເປົ້າຫມາຍ sputtering ແບ່ງປັນໂດຍບັນນາທິການຈາກ RSM
ຄວາມບໍລິສຸດ
ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸເປົ້າຫມາຍແມ່ນຫນຶ່ງໃນຕົວຊີ້ວັດການປະຕິບັດຕົ້ນຕໍ, ເພາະວ່າຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸເປົ້າຫມາຍມີອິດທິພົນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ການປະຕິບັດຂອງຮູບເງົາບາງໆ.ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ໃນການປະຕິບັດຕົວຈິງ, ຄວາມຕ້ອງການຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸເປົ້າຫມາຍແມ່ນບໍ່ຄືກັນ.ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ດ້ວຍການພັດທະນາຢ່າງໄວວາຂອງອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກ, ຂະຫນາດຊິບຊິລິໂຄນໄດ້ຖືກພັດທະນາຈາກ 6 ", 8 "ເປັນ 12", ແລະຄວາມກວ້າງຂອງສາຍໄຟໄດ້ຖືກຫຼຸດລົງຈາກ 0.5um ຫາ 0.25um, 0.18um ຫຼືແມ້ກະທັ້ງ 0.13um.ກ່ອນຫນ້ານີ້, ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸເປົ້າຫມາຍ 99.995% ສາມາດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການຂອງ 0.35umIC.ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸເປົ້າຫມາຍແມ່ນ 99.999% ຫຼືແມ້ກະທັ້ງ 99.9999% ສໍາລັບການກະກຽມເສັ້ນ 0.18um.
ເນື້ອໃນ impurity
ມົນລະພິດໃນຄວາມແຂງຂອງເປົ້າຫມາຍແລະອາຍແກັສອົກຊີແລະນ້ໍາໃນຮູຂຸມຂົນແມ່ນແຫຼ່ງມົນລະພິດຕົ້ນຕໍຂອງການຝາກຮູບເງົາ.ອຸປະກອນການເປົ້າຫມາຍສໍາລັບຈຸດປະສົງທີ່ແຕກຕ່າງກັນມີຄວາມຕ້ອງການທີ່ແຕກຕ່າງກັນສໍາລັບເນື້ອໃນ impurity ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.ຕົວຢ່າງ, ເປົ້າຫມາຍໂລຫະປະສົມອາລູມິນຽມບໍລິສຸດແລະອາລູມິນຽມທີ່ໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ມີຄວາມຕ້ອງການພິເສດສໍາລັບເນື້ອໃນຂອງໂລຫະ alkali ແລະອົງປະກອບ radioactive.
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ
ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນ porosity ໃນແຂງເປົ້າຫມາຍແລະປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງຮູບເງົາ sputtering ໄດ້, ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງຂອງເປົ້າຫມາຍແມ່ນຈໍາເປັນ.ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງເປົ້າຫມາຍມີຜົນກະທົບບໍ່ພຽງແຕ່ອັດຕາການ sputtering, ແຕ່ຍັງຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າແລະ optical ຂອງຮູບເງົາ.ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງເປົ້າຫມາຍທີ່ສູງຂຶ້ນ, ການປະຕິບັດຮູບເງົາທີ່ດີກວ່າ.ນອກຈາກນັ້ນ, ການເພີ່ມຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງເປົ້າຫມາຍເຮັດໃຫ້ເປົ້າຫມາຍທີ່ດີກວ່າທົນທານຕໍ່ຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນໃນຂະບວນການ sputtering.ຄວາມຫນາແຫນ້ນແມ່ນເປັນຫນຶ່ງໃນຕົວຊີ້ວັດການປະຕິບັດທີ່ສໍາຄັນຂອງເປົ້າຫມາຍ.
ຂະຫນາດເມັດພືດແລະການແຜ່ກະຈາຍຂະຫນາດເມັດ
ປົກກະຕິແລ້ວເປົ້າຫມາຍແມ່ນ polycrystalline ທີ່ມີຂະຫນາດເມັດຕັ້ງແຕ່ micrometer ຫາ millimeter.ສໍາລັບເປົ້າຫມາຍດຽວກັນ, ອັດຕາການ sputtering ຂອງເປົ້າຫມາຍທີ່ມີເມັດພືດຂະຫນາດນ້ອຍແມ່ນໄວກວ່າເປົ້າຫມາຍທີ່ມີເມັດໃຫຍ່.ການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາທີ່ຝາກໄວ້ໂດຍ sputtering ເປົ້າຫມາຍທີ່ມີຄວາມແຕກຕ່າງຂະຫນາດເມັດຂະຫນາດນ້ອຍກວ່າ (ການແຜ່ກະຈາຍເອກະພາບ) ແມ່ນເປັນເອກະພາບຫຼາຍ.
ເວລາປະກາດ: ສິງຫາ-04-2022