ບໍລິສັດ Rich Special Material ຈໍາກັດສາມາດຜະລິດເປົ້າຫມາຍ sputtering ອາລູມິນຽມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເປົ້າຫມາຍ sputtering ທອງແດງ, ເປົ້າຫມາຍ sputtering tantalum, ເປົ້າຫມາຍ sputtering titanium, ແລະອື່ນໆສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ semiconductor.
ຊິບ semiconductor ມີຄວາມຕ້ອງການດ້ານວິຊາການສູງແລະລາຄາສູງສໍາລັບ sputtering ເປົ້າຫມາຍ.ຄວາມຕ້ອງການຂອງເຂົາເຈົ້າສໍາລັບຄວາມບໍລິສຸດແລະເຕັກໂນໂລຊີຂອງ sputtering ເປົ້າຫມາຍແມ່ນສູງກວ່າທີ່ຂອງຈໍສະແດງຜົນຮາບພຽງ, ຈຸລັງແສງຕາເວັນແລະຄໍາຮ້ອງສະຫມັກອື່ນໆ.ຊິບ semiconductor ກໍານົດມາດຕະຖານທີ່ເຄັ່ງຄັດທີ່ສຸດກ່ຽວກັບຄວາມບໍລິສຸດແລະໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກພາຍໃນຂອງເປົ້າຫມາຍ sputtering.ຖ້າຫາກວ່າເນື້ອໃນ impurity ຂອງ sputtering ເປົ້າຫມາຍແມ່ນສູງເກີນໄປ, ຮູບເງົາທີ່ສ້າງຂຶ້ນບໍ່ສາມາດຕອບສະຫນອງຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າທີ່ກໍານົດໄວ້.ໃນຂະບວນການ sputtering, ມັນງ່າຍທີ່ຈະປະກອບເປັນອະນຸພາກກ່ຽວກັບ wafer, ສົ່ງຜົນໃຫ້ວົງຈອນສັ້ນຫຼືວົງຈອນເສຍຫາຍ, ເຊິ່ງມີຜົນກະທົບຢ່າງຫນັກແຫນ້ນປະສິດທິພາບຂອງຮູບເງົາໄດ້.ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ເປົ້າຫມາຍ sputtering ຄວາມບໍລິສຸດສູງສຸດແມ່ນຕ້ອງການສໍາລັບການຜະລິດຊິບ, ເຊິ່ງປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນ 99.9995% (5N5) ຫຼືສູງກວ່າ.
Sputtering ເປົ້າຫມາຍຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບການ fabrication ຂອງຊັ້ນອຸປະສັກແລະການຫຸ້ມຫໍ່ຊັ້ນສາຍໄຟໂລຫະ.ໃນຂະບວນການຜະລິດ wafer, ເປົ້າຫມາຍສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອເຮັດໃຫ້ຊັ້ນ conductive, ຊັ້ນ barrier ແລະຕາຂ່າຍໄຟຟ້າໂລຫະຂອງ wafer ໄດ້.ໃນຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່ຊິບ, ເປົ້າຫມາຍ sputtering ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອສ້າງຊັ້ນໂລຫະ, ຊັ້ນສາຍໄຟແລະວັດສະດຸໂລຫະອື່ນໆພາຍໃຕ້ການຕໍາ.ເຖິງແມ່ນວ່າປະລິມານຂອງວັດສະດຸເປົ້າຫມາຍທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດ wafer ແລະການຫຸ້ມຫໍ່ chip ມີຂະຫນາດນ້ອຍ, ອີງຕາມສະຖິຕິ SEMI, ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຂອງວັດສະດຸເປົ້າຫມາຍໃນການຜະລິດ wafer ແລະຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່ກວມເອົາປະມານ 3%.ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ຄຸນນະພາບຂອງເປົ້າຫມາຍ sputtering ມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມສອດຄ່ອງແລະການປະຕິບັດຂອງຊັ້ນ conductive ແລະຊັ້ນອຸປະສັກ, ດັ່ງນັ້ນຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມໄວສາຍສົ່ງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຊິບ.ດັ່ງນັ້ນ, ເປົ້າຫມາຍ sputtering ແມ່ນຫນຶ່ງໃນວັດຖຸດິບຫຼັກສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor
ເວລາປະກາດ: 16-11-2022